
靜電放電的(de)三種模式:
靜電對電(diàn)子產品的損害有多種形式,其中最常見、危害最大的是靜電放電(ESD)。帶靜電的物體與元器件有電接觸時,靜電會轉移到元器件上或通過元器件放電;或者元器件(jiàn)本身帶電,通過(guò)其它(tā)物體放電。這兩種過程都可能損傷元器(qì)件,損傷的程度與(yǔ)靜電放電的有關。實際過程中靜電的(de)來源有(yǒu)很多(duō),放電的形式也有多種。但通過對靜電的(de)主要來源以(yǐ)及實際發生的(de)靜電放(fàng)電過程(chéng)的研究認為,對元器件造成損傷的主要是三種模式,即帶點人體(tǐ)的靜電放電模(mó)式、帶電機器的放電模式和充電器件(jiàn)的(de)放電模式。

1.帶(dài)電的人體的放電模式(HBM)
由於人體會與各種物體(tǐ)間發生接(jiē)觸和磨擦,又與元器件接觸,所以人體易帶靜電,也容易對元器件造(zào)成靜電損傷。普遍認為大部分元器(qì)件靜電損傷是由人體(tǐ)靜電造成的。帶靜電的人體可以等效為等效電路,這個(gè)等效電路又稱人體靜電放電模(mó)型(Human Body Model)。其中,Vp帶靜電的人體與(yǔ)地的電位差,Cp帶靜電的人體與地之間的電容(róng)量,一般為50-250pF;Rp人體與被放電體之間的電阻值,一般為(wéi)102-105Ω。
人體與被放電體之(zhī)間的放電有兩種。即接觸放電和電弧放電。接觸放電時人體與被放(fàng)電(diàn)之間(jiān)的電(diàn)阻值是個恒定值。電(diàn)弧放電是在人體與被放電體之(zhī)間有一定距(jù)離(lí)時,它(tā)們之間空間的電場強度大於其介質(如空氣)的介電強度,介質電離產生電弧放(fàng)電,暗場中可見弧光。電弧放電的特點是在放電(diàn)的初(chū)始階段,因為空氣是**導(dǎo)體,放電通道(dào)的阻抗較高,放電電流較小;隨著放(fàng)電的(de)進行(háng),通道溫(wēn)度升高,引起局部電離,通道阻抗逐漸降低,電流增大,直(zhí)至達到一個峰值;然後,隨著人體靜電能量的釋放,電流逐漸減少,直至(zhì)電弧消失(shī)。
2.帶電機器的放電模式(MM)
機器因為摩擦(cā)或感應也會帶電。帶電機器通過電子元器件放電也會造成損傷。機器放電的模型(Machine Model)。與人體模式相比,機器沒有電(diàn)阻,電(diàn)容則相對要大。
3.充電器件的放電模型(CDM)
在元器件裝配、傳遞、試驗、測試、運輸和儲存的過程中由於殼體與其它材料磨擦,殼(ké)體會帶靜電。一旦元器件引出(chū)腿接地時,殼體將通過芯體和引出腿對地放電。這種形(xíng)式的(de)放電可用所謂帶電器件模型(Charged-Device Model,CDM)來描述。下麵以雙極型和MOS型半導體器(qì)件(jiàn)為例給出靜(jìng)電放電的等效電路。雙極型器件的CDM等效電路,Cd為器件與周圍物體及地之間的電容,Ld為器件導電(diàn)網絡的等效電感,Rd為芯片上放電電流通路的等效電阻。串聯(lián)著的Rd、Cd和Ld等(děng)效於(yú)帶電器件。開關S合上(shàng)表示器件與地的放電(diàn)接觸,接觸電阻為Rc。
MOS器件的CDM等效電路。由於MOS器件(jiàn)各(gè)個(gè)管腿的放電時間長短相(xiàng)差(chà)很大,所以要用不同的放電通路(lù)來模擬,每(měi)條放電通路都用其等效電容、電阻和電感來表示。當開關S閉合而(ér)且有任一個管腿接地時,各(gè)通(tōng)路存儲的電荷將要放電。若在(zài)放電過程中,各(gè)個通路的放電特性不(bú)同,就會引起相互間的電勢(shì)差。這一電勢差也會造成器件的(de)損壞,如柵介質擊穿等。
器件放電等效電容Cd的大小和器件與周圍物體之間的位置及(jí)取向有關,有相關的(de)表格給出了雙列直插封裝器件在不同取向時的等效電容值,可見管殼的取向不同(tóng),電容可相差十幾倍,因而其靜電放電閾值可以(yǐ)有顯著差別(bié)。
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